超透镜线宽技术规格

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江苏优众微纳半导体科技有限公司

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• 业务覆盖区域：中国（江苏南通、浙江舟山）、亚太及海外市场

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超透镜线宽技术参数

线宽加工能力：纳米级精度加工，支持5nm制程

加工技术：纳米压印技术结合原子层刻蚀（ALE）

侧壁形态：垂直矩形，无底切损伤

结构精度：微米至纳米级别超精密结构

工艺稳定性：基于成熟半导体制程工艺

加工环境：20,000平米Fab工厂，固定资产投入近5亿元

超透镜产品结构描述

超透镜（Metalens）作为新型集成化光学元器件，采用微纳结构设计实现波前调制功能。产品通过精确设计的曲率参数与抗反射涂层，在微米级尺度内实现传统透镜的聚焦功能。

结构组成：

• 微纳结构阵列层：采用纳米压印技术制备

• 功能涂层：抗反射涂层，提升透过率

• 基底材料：根据应用场景选择玻璃、石英或其他光学基材

加工工艺流程：
涵盖湿法清洗、光刻、纳米压印、镀膜、化学机械抛光（CMP）、刻蚀等全流程工艺。原子层刻蚀技术实现逐层剥离，确保侧壁垂直度与结构完整性。

功能特性与应用场景

波前调制：通过微纳结构阵列实现光束聚焦、准直和整形

高透过率：精密设计的抗反射涂层，降低光学损耗

小型化设计：突破传统光学元件体积限制，支持集成化应用

偏振控制：结合线栅偏振片等配套元件，实现偏振态调控

应用方向：

• 消费电子：手机摄像模组小型化、屏下摄像头

• 智能驾驶：3D传感器、激光雷达（LiDAR）光束整形

• 光通信：光纤耦合、信号处理与控制

• 及未来显示：增强现实（AR）/虚拟现实（VR）光学系统

• 激光与传感器：激光发射器光束调制、传感器光路设计

规格型号与定制服务

标准规格：

• 尺寸范围：根据应用需求定制，支持晶圆级加工

• 工作波长：可见光至近红外波段（具体参数依客户需求定制）

• 基材选项：玻璃、石英、氮化硅等光学材料

定制化服务：

• 支持复杂微纳结构定制加工

• 提供PDMS、PET等柔性基材模具翻制

• 适配多种基材与工艺组合方案

• 从打样到量产的一站式解决方案

交付模式：

• 硬件供货（OEM/ODM）

• 定制化加工服务

• 技术协作开发

技术实力保障

研发团队：由2位""、6名博士、2名硕士组成，设有清华大学博士研究生实习基地

工艺：

• 技术总监钱志浩：北京大学微电子硕士，近20年半导体研发与生产经验

• 工艺总监居法银：南理工材料学硕士，精通半导体制程

资质荣誉：高新技术企业、创新型中小企业、2025年潜在独角兽企业、市级企业工程技术研究中心

应用案例：
已向光学行业客户交付高透过率聚焦方案，通过精确设计曲率与抗反射涂层，实现微透镜生产与应用落地。